天津中環(huán) RTP-小型快速退火爐
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摘要
采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品描述
產(chǎn)品應(yīng)用：
該電爐采用紅外燈管加熱，通過滑動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速降溫。應(yīng)用于半導(dǎo)體或太陽能電池基片退火。也可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化物合金退火、電極合金化、氧化物生長、離子注入后退火、薄膜沉積等工藝試驗(yàn)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可在真空/氣氛/空氣等不同環(huán)境下通過快速移動(dòng)爐體，加之強(qiáng)風(fēng)冷設(shè)計(jì)，可對樣品進(jìn)行快速升降溫處理；管內(nèi)測溫設(shè)計(jì)，溫控精度高,升溫速率50℃/s;緊湊的臺式設(shè)計(jì)，快速連接法蘭，減少了爐管因安裝造成損壞的可能，方便操作。
產(chǎn)品名稱
RTP-小型快速退火爐
產(chǎn)品型號
RTP-G11103-K
額定功率
9KW
額定電壓
220AC 50/60Hz
溫度可達(dá)
1000°C
連續(xù)工作
950°C(<1 小時(shí))
加熱區(qū)長度
300mm
恒溫區(qū)長度
100mm
加熱元件
紅外燈管
溫度控制
國產(chǎn)程序控溫系統(tǒng)可編程50段程序控溫；
控制精度
±1℃
石英管尺寸
Φ110*380MM
爐管材質(zhì)
石英管
滑動(dòng)距離
355mm
滑動(dòng)方式
手動(dòng)滑動(dòng)
建議升溫速度
室溫900℃：30℃/sec
900℃~1000℃： 10℃/sec外形尺寸
950 X 350 X 530 mm
重量
45Kg
標(biāo)準(zhǔn)配置
氣路總成一套（含真空壓力表）石英管一支、高溫手套一副。76MM的樣品石英架一個(gè)。
產(chǎn)品展示
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